Физический энциклопедический словарь - эллипсометрия
Эллипсометрия
эллипсометрия
, совокупность методов изучения поверхностей жидких и тв. тел по состоянию поляризации светового пучка, отражённого этой поверхностью и преломлённого на ней. Падающий на поверхность плоско поляризованный свет приобретает при отражении и преломлении эллиптич. поляризацию вследствие наличия тонкого переходного слоя на границе раздела сред. Зависимость между оптич, постоянными слоя и параметрами эллиптически поляризованного света устанавливается на основании Френеля формул. На принципах Э. построены методы чувствительных бесконтактных исследований поверхности жидкости или тв. в-в, процессов адсорбции, коррозии и др. В кач-ве источника света в Э. используется монохроматическое излучение зелёной линии ртути, а в последнее время -луч лазера, что даёт возможность исследовать микронеоднородности на поверхности изучаемого объекта. Получило развитие также новое направление спектральной Э. в широком интервале длин волн, существенное при исследованиях ат. состава неоднородных и анизотропных поверхностей и плёнок. • Горшков М. М., Эллипсометрия, М., 1974; Основы эллипсометрии, Новосиб., 1979. Т. Н. Крылова.
Рейтинг статьи:
Вопрос-ответ:
Ссылка для сайта или блога:
Ссылка для форума (bb-код):
Самые популярные термины
1 | 1385 | |
2 | 1053 | |
3 | 997 | |
4 | 944 | |
5 | 926 | |
6 | 830 | |
7 | 803 | |
8 | 802 | |
9 | 715 | |
10 | 711 | |
11 | 691 | |
12 | 638 | |
13 | 628 | |
14 | 616 | |
15 | 533 | |
16 | 525 | |
17 | 518 | |
18 | 502 | |
19 | 484 | |
20 | 480 |